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  微機電系統乃是一涵蓋了機械、電機、化工、材料、醫學、生物、光電、電子、通訊….等等領域之專業知識,以及建立在微感測器、微致動器、微電子機械系統、顯微系統、微工具以及微加工等技術的整合技術。微機電系統科技,已成為世界各國於半導體產業之後相繼追求的新興整合型科技 - 一個為科技界公認最具發展潛力之整合型科技產業。今年(2001年)的 "第六次全國科學技術會議"中,明確指出台灣未來4年產業科技發展重點領域包含了微機電技術與精密機械技術、生醫技術、生物晶片等等微機電相關產業,足以證明微機電系統已經是國家的重點發展方向。德國、美國及日本等先進國家,大約自1990年以來,為厚植微機電系統關鍵技術之發展並培植微機電系統相關產業,分別投入了龐大的資金,有計畫地以數年乃至十年以上的長期時間從事相關的研究發展。

  微機電系統技術結合微細加工技術(microfabrication technology)及整合系統功能(system approach)。基本上微機電系統技術是由微感測器(microsensor)、微致動器(microactuator)、IC控制元件( IC controller)等各元件組成,再藉由整合的技術使上述各元件結合成微型系統。微機電系統技術在微型化方面主要是沿用微電子(microelectronics)技術的發展經驗及技術,因此在晶體成長、薄膜沉積、微影蝕刻、模擬及檢測各方面皆已在過去十餘年電子產業的發展中建立了深厚的發展基礎,但由於微機電系統特性需求與微電子技術有相當的差異,因此對材料、元件及系統特性需求也有一定區別。有別於微電子技術對電性功能的需求,微機電系統卻需再進一步考慮因為尺寸及材料成分不同造成機械特性差異;另一方面,由於微機電系統是由不同的細部組件組成的系統,因此各細部組件的整合成為決定最後產品性能與成本的關鍵課題。

  微機電系統被視為下世代主要的核心技術,美、日、歐等先進國家均已進入此技術領域並積極投入研發工作。微機電系統技術之應用領域非常廣泛,舉凡通訊、製造、醫療、航太、汽車及生物科技等領域皆有其重要應用,預估2002年全世界產值將高達美金380億元[2]。以微電子精密機械技術在生醫晶片之應用為例,越來越多的高科技公司,投資大量資金在生醫晶片之技術發展。他們相信生醫晶片技術將像電腦一樣改變人類生活,在新藥發展、基因工程、環境監督及臨床疾病診斷上會有革命性的突破,這主要原因是:利用微電子精密機械技術,研究人員可將不同功能的大型生化儀器縮小,並將取樣(sampling) 、樣本傳輸(sample transport) 、反應(reaction) 、分離(separation)及偵測(detection)等功能整合於一小面積之生醫晶片上(lab-on-a-chip)。這樣不僅可提高檢驗速率(high-throughput)而縮短檢驗時間,亦可大量減少樣本(sample)消耗而降低檢驗成本。